下载一种基于MEMS微镜的光学扫描装置的技术资料

文档序号:8386606

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本发明公开了一种基于MEMS微镜的光学扫描装置。本发明的光学扫描装置包括:光学准直器和MEMS微镜,光源发出的入射光线经光学准直器准直后,由MEMS微镜反射;光源与MEMS微镜之间的光路上设置有一反射镜;该反射镜的中间部分中空或透明,可供入...
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