一种基于MEMS微镜的光学扫描装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基于MEMS微镜的光学扫描装置。本发明专利技术的光学扫描装置包括：光学准直器和MEMS微镜，光源发出的入射光线经光学准直器准直后，由MEMS微镜反射；光源与MEMS微镜之间的光路上设置有一反射镜；该反射镜的中间部分中空或透明，可供入射光线正常通过；该反射镜的外圈为反射镜面，将MEMS微镜反射的光线反射至扫描样本。本发明专利技术有效扩展了扫描范围，并可通过反射镜镜面的设计，实现侧向圆周扫描和前向圆周扫描。相比现有技术，本发明专利技术具有更广的扫描范围，且结构简单，实现成本低廉。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光学扫描装置，尤其涉及一种基于MEMS(Micro-Electro-Mechanic System,微机电系统)微镜的光学扫描装置。
技术介绍
光学扫描装置目前被广泛应用于医学成像、投影仪、光谱仪及图形码阅读器等领域。例如，医学成像中所使用的扫描探头。微型化是光学扫描装置的主要发展趋势，MEMS微镜由于其所具有的结构精巧、控制简单、功耗低等优点，特别适用于微型化的光学扫描装置，因此，基于MEMS微镜的光学扫描装置已成为目前微型光学扫描技术的主流。MEMS微镜的基本原理为通过微机电驱动机构精确控制微镜镜面旋转的驱动力，实现精确控制微镜镜面的旋转角度，从而达到精确控制光线的传播方向。MEMS微镜概括起 来主要由三部分组成(如图I所示):边框C、驱动结构B、镜面A。其中驱动结构B用于连接镜面A与边框C并驱动镜面A旋转进而控制入射到镜面上的光的反射方向。现有MEMS微镜根据镜面可旋转方向可分为一维和二维MEMS微镜，根据驱动方式不同又可分为静电驱动型、电磁驱动型、电热驱动型及压电驱动型等种类。基于MEMS微镜的光学扫描装置通常包括光学准直器(例如格林透镜、、微透镜等)和M本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于MEMS微镜的光学扫描装置，包括：光学准直器和MEMS微镜，光源发出的入射光线经光学准直器准直后，由MEMS微镜反射；其特征在于，光源与MEMS微镜之间的光路上设置有一反射镜；该反射镜的中间部分中空或透明，可供入射光线正常通过；该反射镜的外圈为反射镜面，将MEMS微镜反射的光线反射至扫描样本。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：谢会开，周亮，陈巧，
申请(专利权)人：无锡微奥科技有限公司，
类型：发明
国别省市：