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本发明一种大视场折反射投影光学系统，沿光线传播方向依次经过第一光学镜片，第一透镜，第一反射镜，第二透镜，第三透镜；其中，所述第一光学镜片包含一透射部，及一反射部，且所述各光学元件在同一光轴上。本发明提出的一种i线一倍投影光学系统，能校正大视...
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