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本发明一种大视场折返射投影物镜，包括：一第一光学镜组，其中光学元件均为透镜，镜组的光焦度为正；一第二光学镜组，其中至少包括两个反射镜以及三个透镜，镜组光焦度为正；其中，所述第一第二光学镜组的光学元件均同轴，且所述两个反射镜位于光路的最后，将...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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