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Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜及其制作方法技术
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文档序号:8386541
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本发明涉及Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜及其制作方法,在超光滑的硅片或玻璃基底上镀制打底层,再交替镀制Mg、Mo和SiC膜层形成Mg/Mo/SiC周期多层膜,最后镀制SiC作为保护层即可。本发明采用熔点高、相态稳定的金属Mo加入到多层...
该专利属于同济大学所有,仅供学习研究参考,未经过同济大学授权不得商用。
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