下载Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜及其制作方法的技术资料

文档序号:8386541

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜及其制作方法,在超光滑的硅片或玻璃基底上镀制打底层,再交替镀制Mg、Mo和SiC膜层形成Mg/Mo/SiC周期多层膜,最后镀制SiC作为保护层即可。本发明采用熔点高、相态稳定的金属Mo加入到多层...
该专利属于同济大学所有,仅供学习研究参考,未经过同济大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。