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磁传感器的检查装置和检查方法制造方法及图纸
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文档序号:8386500
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本发明涉及磁传感器的检查装置和检查方法。磁传感器检查装置具有矩形框,该矩形框包括平台、探测器卡和多个磁场产生线圈。磁传感器的晶片状阵列被安装在平台上,平台能够在水平方向和竖直方向上移动。探测器卡包括多个探测器,多个探测器与在测量区域中包围的...
该专利属于雅马哈株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过雅马哈株式会社授权不得商用。
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