下载气体传感器的技术资料

文档序号:8386342

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本发明公开了一种位于半导体衬底上的气体传感器。该气体传感器包括细长传感器元件,该细长传感器元件横跨开口延伸并具有相反的第一表面和第二表面,所述第一表面和第二表面外露以与要感测的气体相接触。第一表面背向衬底的主表面。第二表面面向所述主表面。细...
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