【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及气体传感器。具体地地，本专利技术涉及设置在半导体衬底上的气体传感器。
技术介绍
气体传感器用在多种不同的应用中以感测多种气体的成分和/或浓度。一种示例性应用是在供应链监测领域，其中监测诸如食品或饮料之类的消费品周围的空气中存在的CO2的水平，以确定消费的适宜性。所述监测通常可以在分配链中的多个阶段处执行。其它应用包括空气质量监测、在建筑物或汽车中的供暖、通风和空调(HVAC)系统中的使用、或温室中的CO2监测。 图I示出了已知种类的气体传感器20的第一示例。传感器20设置在半导体衬底2(通常为硅)上，并包括设置成曲线形式的细长传感器元件4。传感器元件4在两端处由一对电接触件10端接，允许电流在操作期间流过传感器元件4。传感器元件4位于电桥结构6的上表面上，电桥结构6横跨衬底2中的开口 8延伸。电桥结构6本身包括薄隔膜，所述薄隔膜是通过钻蚀(under-etch)衬底2的表面的一部分以形成开口 8而制成的。如图I所示，传感器元件4具有上表面，该上表面外露至周围环境，允许传感器元件4与要感测的气体接触。还在衬底2上设置加热器。该加热器包括电阻元件14，...
【技术保护点】
一种位于半导体衬底上的气体传感器，该气体传感器包括：细长传感器元件，该细长传感器元件横跨开口延伸并具有相反的第一表面和第二表面，所述第一表面和第二表面外露以与要感测的气体相接触，其中，第一表面背向衬底的主表面，第二表面面向所述主表面，细长传感器元件的电导率对所述相反的第一表面和第二表面能够外露到的所述气体的成分和/或浓度是敏感的；以及支撑结构，该支撑结构被布置为通过将细长传感器元件支撑在所述开口中来提高气体传感器的机械鲁棒性。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：奥瑞利·休伯特，戴维·蒂奥·卡斯特罗，
申请(专利权)人：NXP股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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