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一种表面轮廓侦测装置，侦测一目标物的表面轮廓，目标物具有一目标物对称轴，表面轮廓侦测装置包括波前侦测单元、驱动单元以及旋转单元。波前侦测单元具有影像传感器且发射侦测光束。驱动单元具有多个平台移动目标物或波前侦测单元。旋转单元具有旋转轴，且设...
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