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本发明案揭示用于半导体电镀设备的唇形密封件和接触元件。本发明中揭示用于在电镀抓斗中使用的唇形密封件组合件，所述唇形密封件组合件可包含用于拒绝电镀溶液进入半导体衬底的外围区的弹性体唇形密封件以及一个或一个以上电接触元件。所述接触元件可在结构上...
该专利属于诺发系统有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过诺发系统有限公司授权不得商用。

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