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本发明提供一种纳米掺杂结构及其制备：1）先将纳米材料放置于原子层沉积系统反应腔内；2）用原子层沉积方法沉积厚度为1-2个循环的掺杂物材料；3）沉积厚度为X个循环的纳米材料的基体材料；4）交替循环沉积Y个周期上述2）、3）中所述掺杂物和基体材...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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