下载光刻胶剥离液废液的回收方法的技术资料

文档序号:8383117

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本发明提供了一种光刻胶剥离液废液的回收方法,特别是指将半导体基材上残留的光刻胶除去后的光刻胶剥离液废液的回收方法。本发明首先采用适量的水在酸性条件下分两个步骤沉淀光刻胶主要成分线性酚醛树脂,得到可再次作为光刻胶使用的线性酚醛树脂;然后利用活...
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