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本发明提供一种纳米级球形硅粉的生产方法，它在依次连通的高温蒸发器、粒子控制器及收集器组成的反应系统中进行，包括以下操作步骤：将纯度≥99.9%的硅块加入到高温蒸发器中，对反应系统抽真空，充入氩气，使反应系统内部压力为75～150kPa；开启...该专利属于宁波广博纳米新材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波广博纳米新材料股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种纳米级球形硅粉的生产方法，它在依次连通的高温蒸发器、粒子控制器及收集器组成的反应系统中进行，包括以下操作步骤：将纯度≥99.9%的硅块加入到高温蒸发器中，对反应系统抽真空，充入氩气，使反应系统内部压力为75～150kPa；开启...