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本发明涉及一种三维金属微纳米器件的制备方法。该方法包括利用飞秒激光束在第一光刻胶中形成聚合物第一结构；对聚合物第一结构表面进行活化；用第二光刻胶覆盖经活化的聚合物第一结构；利用飞秒激光束在第二光刻胶中形成部分地接触第一结构的第二结构，得到部...
该专利属于中国科学院理化技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院理化技术研究所授权不得商用。

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