【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种制作三维金属微纳米器件的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：利用飞秒激光束在第一光刻胶中形成聚合物第一结构；对聚合物第一结构表面进行活化；用第二光刻胶覆盖经活化的聚合物第一结构；利用飞秒激光束在第二光刻胶中形成部分地接触第一结构的第二结构，得到部分地暴露经活化的第一结构表面的复合体；以及在电镀液中对所述复合体进行无极电镀，在所述暴露的第一结构表面上形成金属薄膜，得到三维金属微纳米器件。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：段宣明，贾雁鹏，董贤子，田野，刘前，赵震声，
申请(专利权)人：中国科学院理化技术研究所，
类型：发明
国别省市：
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