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本发明涉及一种微桥结构红外探测器的制备方法和微桥结构，该方法包括：在红外探测器读出电路基底上依次沉积金属反射层、牺牲层，并在牺牲层上刻蚀PI孔，PI孔位于读出电路引出电极上；在牺牲层上依次沉积支撑层、热敏层和保护层；在PI孔内制备通孔并在保...
该专利属于烟台睿创微纳技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过烟台睿创微纳技术有限公司授权不得商用。

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