下载半导体器件塑封抽真空装置的技术资料

文档序号:8382056

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本发明涉及半导体器件封装技术领域,尤其是涉及半导体器件塑封抽真空装置。其包括有塑封机,塑封机上设有塑封模具,塑封模具合模后可形成密封空间,一真空容器罐通过真空管道连通塑封模具合模后形成的密封空间,于真空管道上设有抽气阀、放气阀及真空压力表,...
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