温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明的目的在于提供一种处理设备，该处理设备设置有：对被处理物进行处理得到处理物的多个工艺室；和搬送由被处理物或处理物组成的被搬送物，并向这些工艺室进行被搬送物的交接的搬送区域，在该处理设备中，设置用来载置被搬送物的保管区域，同时内部区域以...
该专利属于日挥株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日挥株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。