下载耗尽型VDMOS的技术资料

文档序号:8378096

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本实用新型公开了提供一种耗尽型VDMOS,其中耗尽型VDMOS包括:一第一掺杂类型的掺杂衬底;形成于所述衬底一面上的第一掺杂类型的外延层;形成于所述外延层内的至少两个第二掺杂类型的深阱;以及形成于每个所述深阱两侧的两个第一掺杂类型的离子注入...
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