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本实用新型提供一种晶圆盒组件，至少包括晶圆盒、分别位于该晶圆盒相对两个内侧壁的晶舟盒和位于晶圆盒下部的晶圆支架，该晶圆支架至少包括呈纵向分布的两个侧翼部以及连接于所述两个侧翼部之间的分隔部，该分隔部包括若干横向平行排列的通槽。本实用新型的晶...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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