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本实用新型公开了一种新型单晶炉热场、拉制轻掺硅单晶棒的新型单晶炉热场，包括导流筒；其特征在于，所述导流筒表面设置有碳化硅涂层。本实用新型中的新型单晶炉热场，由于采用设置碳化硅涂层的导流筒，可降低硅单晶棒生产能耗，可降低5%以上。使用本实用新...
该专利属于上海合晶硅材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海合晶硅材料有限公司授权不得商用。

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