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本实用新型公开了一种等离子真空镀膜室,其特征在于,镀膜室内设有金属网罩,金属网罩设有电子逃逸口,所述金属网罩通过一横向贯穿的金属棒将其固定于镀膜室内,所述金属棒与高脉冲电源电连接,其两端搭通过玻璃砖固定在支架上,所述金属棒与玻璃砖之间连接方...该专利属于合肥永信等离子技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥永信等离子技术有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种等离子真空镀膜室,其特征在于,镀膜室内设有金属网罩,金属网罩设有电子逃逸口,所述金属网罩通过一横向贯穿的金属棒将其固定于镀膜室内,所述金属棒与高脉冲电源电连接,其两端搭通过玻璃砖固定在支架上,所述金属棒与玻璃砖之间连接方...