温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种用于磁控溅射镀膜的组合式陶瓷靶材，包括溅射区域和非溅射区域，所述非溅射区域所在的所述靶材上设置有压条，所述压条的表面为粗糙表面。镀膜过程中，靶材的非溅射区域会积累大量的粉末状物质，本实用新型所述靶材的非溅射区域设置表面粗...
该专利属于四川汉能光伏有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川汉能光伏有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。