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一种调节真空磁控辉光均匀性的装置制造方法及图纸
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下载一种调节真空磁控辉光均匀性的装置的技术资料
文档序号:8374255
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本实用新型涉及一种调节真空磁控辉光均匀性装置,该装置包括长度调节机构、辉光均匀控制机构、辉光均匀机构,所述长度调节机构与所述辉光均匀控制机构配合以控制所述辉光均匀机构调节所述辉光的均匀性。本实用新型的有益效果包括可以在真空环境下操作,不用回...
该专利属于天津南玻节能玻璃有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津南玻节能玻璃有限公司授权不得商用。
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