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垂直超结MOSFET(101)和横向MOSFET(102)集成在相同半导体基板上。通过n掩埋隔离层(15)和n扩散隔离层(16)将横向MOSFET(102)与垂直超结MOSFET(101)电隔离。横向MOSFET(102)由在n掩埋隔离层(...
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