下载用于分离衬底晶片的方法的技术资料

文档序号:8368832

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

在用于从半导体单晶体(100)分离半导体层的方法中,提供具有单一晶体结构的半导体单晶体(100)。通过借助于激光(106)的照射,将在所述半导体单晶体(100)中的分离面(104)内的晶体结构局部地改性到已改变的组织结构状态。通过选择性刻蚀...
该专利属于欧司朗光电半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过欧司朗光电半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。