专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
欧司朗光电半导体有限公司
>
用于分离衬底晶片的方法技术
>技术资料下载
下载用于分离衬底晶片的方法的技术资料
文档序号:8368832
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
在用于从半导体单晶体(100)分离半导体层的方法中,提供具有单一晶体结构的半导体单晶体(100)。通过借助于激光(106)的照射,将在所述半导体单晶体(100)中的分离面(104)内的晶体结构局部地改性到已改变的组织结构状态。通过选择性刻蚀...
该专利属于欧司朗光电半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过欧司朗光电半导体有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。