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具有结合的聚合物薄膜磨损表面的气动轴承及其制造方法技术
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下载具有结合的聚合物薄膜磨损表面的气动轴承及其制造方法的技术资料
文档序号:8368579
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本发明公开一种具有结合的聚合物薄膜磨损表面的气动轴承及其制造方法。例如,公开一种用于支撑有效载荷的气动轴承。气动轴承具有轴承表面,所述轴承表面具有使用结合层紧固至基板的聚酰亚胺薄膜。聚酰亚胺薄膜可以包括聚-氧联二苯基-均苯四酸酰亚胺,结合层...
该专利属于ASML控股股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASML控股股份有限公司授权不得商用。
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