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本发明涉及使用一种或多种液态原材料涂覆基板（15）的设备和方法，包括：至少一个雾化器（2），用于将一种或多种液态原材料雾化成微滴（3）；充电部件（4；32），用于在雾化期间或雾化之后对微滴（3）电性充电；以及沉积腔室（16），在所述沉积腔室...
该专利属于BENEQ有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过BENEQ有限公司授权不得商用。

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