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本发明公开了一种生长在金属Ag衬底上的AlN薄膜，其采用金属Ag为衬底，选择Ag衬底的（111）晶面偏向（100）方向0.5－1°的晶体取向，在金属单晶Ag(111)衬底上采用脉冲激光沉积生长法生长出外延AlN薄膜。本发明的生长在金属Ag衬...
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