下载背照式CMOS影像传感器及其形成方法的技术资料

文档序号:8367389

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本发明提供了一种背照式CMOS影像传感器及其形成方法,其中,所述背照式CMOS影像传感器包括:硅基底;形成于所述硅基底中的光电二极管及隔离结构,其中,所述光电二极管及隔离结构靠近所述硅基底的正面;形成于所述硅基底背面上的应力膜层。通过所述应...
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