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一种部分场板屏蔽的高压互连结构制造技术
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文档序号:8367376
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一种部分场板屏蔽的高压互连结构,属于半导体功率器件技术领域。本发明用于具有高压互连线的跑道型横向功率器件中,包括双层部分多晶屏蔽场板和高压互连线;所述双层部分多晶屏蔽场板仅存在于高压互连线跨过的器件表面层中,无高压互连线跨越的器件表面没有多...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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