温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种阵列基板制作方法及阵列基板,阵列基板制作方法包括:在所述基板上形成栅金属薄膜、绝缘薄膜以及半导体薄膜,通过第一次构图工艺形成包括栅线、栅极绝缘层和半导体层的图形;依次形成透明导电薄膜和金属薄膜,通过第二次构图工艺形成包括数据线...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种阵列基板制作方法及阵列基板,阵列基板制作方法包括:在所述基板上形成栅金属薄膜、绝缘薄膜以及半导体薄膜,通过第一次构图工艺形成包括栅线、栅极绝缘层和半导体层的图形;依次形成透明导电薄膜和金属薄膜,通过第二次构图工艺形成包括数据线...