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本发明提供了一种带离子阱的脉冲式辉光放电离子源，包括：电源、能够产生离子的放电体C和离子引出电极B2，放电体C的高压端连接电源，低压端通过相互串联的限流电阻R1和高压开关S1接地，离子引出电极B2的一端通过分压电阻R3连接放电体C的高压端，...该专利属于武汉矽感科技有限公司;上海矽感信息科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉矽感科技有限公司;上海矽感信息科技有限公司授权不得商用。