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本发明公开一种芯片用聚酰亚胺剥离液,其特征在于由如下组分(质量百分比)构成:吡咯烷酮5~60%,亚砜5~80%,醇醚5~40%,季铵0.1~20%,碱0.1~10%,水余量,既可快速彻底(无残留)去除聚酰亚胺,又能防止金属材料被氧化受损,有...该专利属于大连三达维芯半导体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过大连三达维芯半导体材料有限公司授权不得商用。
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本发明公开一种芯片用聚酰亚胺剥离液,其特征在于由如下组分(质量百分比)构成:吡咯烷酮5~60%,亚砜5~80%,醇醚5~40%,季铵0.1~20%,碱0.1~10%,水余量,既可快速彻底(无残留)去除聚酰亚胺,又能防止金属材料被氧化受损,有...