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一种利用激光远程激发微米尺度的微悬臂梁探针共振的方法技术
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下载一种利用激光远程激发微米尺度的微悬臂梁探针共振的方法的技术资料
文档序号:8366152
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本发明涉及一种利用激光远程激发微米尺度的微悬臂梁探针共振的方法,通过在微米尺度的微悬臂梁探针表面施加具有一定频率的脉冲激光照射,利用激光热效应在微米尺度的微悬臂梁探针中产生的热应力,实现对微米尺度的微悬臂梁探针的共振激发。所述脉冲激光的频率...
该专利属于山东大学所有,仅供学习研究参考,未经过山东大学授权不得商用。
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