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本发明涉及一种矩阵式小器件的外观检测方法及装置，其装置包括运动平台和工业相机，以及由F-Theta透镜、带反射镜片的振镜电机和聚焦镜组成的放大扫描组件；F-Theta透镜固定安装在运动平台的正上方；振镜电机、聚焦镜和工业相机设置在一个水平面...
该专利属于北京金橙子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京金橙子科技有限公司授权不得商用。

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