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本发明涉及一种真空中带电污染物的检测装置及方法，属于真空技术应用领域。所述装置包括：真空测试室、热电子发射阴极、热电子发射阴极陶瓷固定件、加速极支撑架、偏转栅网、测试法兰、加速极、底座、出气盖、加热台、支架；直流稳流电源、第一稳压电源、真空...该专利属于中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所授权不得商用。