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本发明涉及一种激光焦斑光强分布测试装置及测试方法,该激光焦斑光强分布测试装置包括中继镜、衰减契板、调整架以及设置在调整架上的CCD;待测激光焦斑以及所述中继镜、衰减契板以及CCD处于依次处于同一光轴上。本发明提出了一种集成度高、结构紧凑以及...该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。
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本发明涉及一种激光焦斑光强分布测试装置及测试方法,该激光焦斑光强分布测试装置包括中继镜、衰减契板、调整架以及设置在调整架上的CCD;待测激光焦斑以及所述中继镜、衰减契板以及CCD处于依次处于同一光轴上。本发明提出了一种集成度高、结构紧凑以及...