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本发明实施例公开了一种图案匹配方法，用于线宽测量机的测量过程中，包括如下步骤：读取测量样本上的至少一预定位置上的用于匹配的标准图案；将所述测量样本上的所述每一标准图案分别与预存的与所述标准图案对应的多个设计原图进行对比；如果所述测量样本上的...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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