【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于测量液晶面板的制造过程，特别是涉及一种图案匹配方法、装置及线宽测量机。
技术介绍
在液晶显示器的制造过程中，需要对已经镀膜的玻璃基本上的镀膜的线宽进行测量，以判断镀膜是否成功。此时首先需要将测量样品与设计的图案进行图案匹配的步骤，以进行样品的定位。一般来说，测量样品为在透明玻璃基板经过镀膜工艺形成多个图案，在图案中包含了很多线段。线宽测量机需要对所述线段的宽度进行测量。为了进行图案的匹配，在该测量样品上的预定位置处进一步镀膜有至少一个用于匹配的标准图案，处于不同位置的标·准图案所包含的图案可以不同。相应地，在线宽测量机(或电脑)中存储有该标准图案的设计图案，此处所说的图案匹配，即指将测量样品上的标准图案与对应的已预先存储的设计图案进行比较。如果比较结果为两者相同或达到一定的相似度，则匹配成功。匹配成功后，即可以将测量样品上的图案移至中间位置，进行线宽的测量。但是，在现有技术中，一旦液晶面板的制程出现不稳定时，则在测量样品上通常显现出一定的灰度，如图I所示，其中A表示测量样品上的标准图案，B表示，预先存储的与其对应的设计图案，其中，标准图案A存在...
【技术保护点】
一种图案匹配方法，用于线宽测量机的测量过程中，其特征在于，包括如下步骤：读取测量样本上的至少一预定位置上的用于匹配的标准图案，所述测量样本为镀膜有多个图案的透明基板；将所述测量样本上的所述每一标准图案分别与预存的与所述标准图案对应的多个设计原图进行对比，所述多个设计原图差别在于图案灰度不同；如果所述测量样本上的标准图案与至少一个设计原图比对成功，则判定所述图案匹配成功，进行后续的线宽测量过程；否则判定所述图案匹配失败。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：林勇佑，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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