一种图案匹配方法、装置及线宽测量机制造方法及图纸

本发明专利技术实施例公开了一种图案匹配方法，用于线宽测量机的测量过程中，包括如下步骤：读取测量样本上的至少一预定位置上的用于匹配的标准图案；将所述测量样本上的所述每一标准图案分别与预存的与所述标准图案对应的多个设计原图进行对比；如果所述测量样本上的标准图案与至少一个设计原图比对成功，则判定所述图案匹配成功，进行后续的线宽测量过程；否则判定所述图案匹配失败。本发明专利技术实施例还公开了相应的图案匹配方法以及线宽测量机。根据本发明专利技术的实施例，可以提高进行线宽测量时的图案匹配的准确性和成功率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于测量液晶面板的制造过程，特别是涉及一种图案匹配方法、装置及线宽测量机。
技术介绍
在液晶显示器的制造过程中，需要对已经镀膜的玻璃基本上的镀膜的线宽进行测量，以判断镀膜是否成功。此时首先需要将测量样品与设计的图案进行图案匹配的步骤，以进行样品的定位。一般来说，测量样品为在透明玻璃基板经过镀膜工艺形成多个图案，在图案中包含了很多线段。线宽测量机需要对所述线段的宽度进行测量。为了进行图案的匹配，在该测量样品上的预定位置处进一步镀膜有至少一个用于匹配的标准图案，处于不同位置的标·准图案所包含的图案可以不同。相应地，在线宽测量机(或电脑)中存储有该标准图案的设计图案，此处所说的图案匹配，即指将测量样品上的标准图案与对应的已预先存储的设计图案进行比较。如果比较结果为两者相同或达到一定的相似度，则匹配成功。匹配成功后，即可以将测量样品上的图案移至中间位置，进行线宽的测量。但是，在现有技术中，一旦液晶面板的制程出现不稳定时，则在测量样品上通常显现出一定的灰度，如图I所示，其中A表示测量样品上的标准图案，B表示，预先存储的与其对应的设计图案，其中，标准图案A存在一定的灰度，其与设计图案B存在灰度上的差异，在这种情况下，则常常会导致图案匹配失败。而实际上，这种灰度的差异在液晶面板的制造过程中是可以接受的，故现有的这种情形，容易导致线宽无法进行测量，而延缓进度。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于，提供一种图案匹配方法、装置及线宽测量机，可以提高图案匹配的准确性和成功率。为了解决上述技术问题，本专利技术的实施例的一方面提供一种图案匹配方法，用于线宽测量机的测量过程中，包括如下步骤 读取测量样本上的至少一预定位置上的用于匹配的标准图案，所述测量样本为镀膜有多个图案的透明基板； 将所述测量样本上的所述每一标准图案分别与预存的与所述标准图案对应的多个设计原图进行对比，所述多个设计原图差别在于图案灰度不同； 如果所述测量样本上的标准图案与至少一个设计原图比对成功，则判定所述图案匹配成功，进行后续的线宽测量过程；否则判定所述图案匹配失败。其中，进一步包括预先在测量样本的至少一个预定位置上镀膜形成标准图案。其中，进一步包括预先存储每一预定位置上的设计原图，每一位置上的标准图案所对应的设计原图为多个，所述每一设计原图所对应的图案灰度不同。其中，如果所述测量样本上的标准图案与至少一个设计原图比对成功，则判定所述图案匹配完成的步骤具体为 将所述测量样本上的标准图案与对应的设计原图进行比较，如果相似度达到预定比值，则判定所述测量样本上的标准图案与所述设计原图比对成功，所述相似度达到预定比值可以预先设定。相应地，本专利技术的实施例的另一方面提供一种图案匹配装置，用于线宽测量机中，其中，包括 图像撷取单元，用于读取测量样本上的至少一预定位置上的用于匹配的标准图案，所述测量样本为镀膜有多个图案的透明基板； 匹配处理单元，将所述图像撷取单元读取的测量样本上的每一标准图案分别与预存的与所述标准图案对应的多个设计原图进行对比，所述多个设计原图差别在于图案灰度不同；如果所述测量样本上的标准图案与至少一个设计原图比对成功，则判定所述图案匹配完成。其中，进一步包括存储单元，用于存储每一预定位置上的设计原图，每一位置上的标准图案所对应的设计原图为多个，所述每一设计原图所对应的图案灰度不同。其中，所述匹配处理单元进一步包括 获取子单元，从所述存储单元获取所述测量样本上的标准图案所对应的多个设计原 匹配子单元，将所述标准图案分别与所述获取子单元获取的多个设计原图进行对比；匹配结果判定单元，用于在所述标准图案与其中一个设计原图相似度达到预定比值时，则判定所述测量样本上的标准图案与所述设计原图比对成功，否则判定比对失败。其中，进一步包括 设定单元，用于设定标准图案与设计原图之间比对的相似度的比值，供所述匹配结果判定单元进行比对判定。相应地，本专利技术实施例的再一方面提供一种线宽量测机，包括 图像撷取单元，用于读取测量样本上的至少一预定位置上的用于匹配的标准图案，所述测量样本为镀膜有多个图案的透明基板； 匹配处理单元，将所述图像撷取单元读取的测量样本上的每一标准图案分别与预存的与所述标准图案对应的多个设计原图进行对比，所述多个设计原图差别在于图案灰度不同；如果所述测量样本上的标准图案与至少一个设计原图比对成功，则判定所述图案匹配成功； 线宽测量单元，用于在所述匹配处理单元判定图案匹配成功后，对所述测量样本上的线宽进行测量。其中，进一步包括存储单元，用于存储每一预定位置上的设计原图，每一位置上的标准图案所对应的设计原图为多个，所述每一设计原图所对应的图案灰度不同。其中，匹配处理单元进一步包括 获取子单元，从所述存储单元获取所述测量样本上的标准图案所对应的多个设计原 匹配子单元，将所述标准图案分别与所述获取子单元获取的多个设计原图进行对比； 匹配结果判定单元，用于在所述标准图案与其中一个设计原图相似度达到预定比值时，则判定所述测量样本上的标准图案与所述设计原图比对成功，否则判定比对失败。实施本专利技术实施例，具有如下有益效果 根据本专利技术的实施例，通过为测量样本上的每一标准图案对应预存有多个设计原图，所述多个设计原图差别在于图案灰度不同；只要所述测量样本上的标准图案与至少一个设计原图比对成功，就判定所述图案匹配成功，可以直接进行后续的线宽测量过程，这样可以提高图案匹配的准确性和成功率。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以·根据这些附图获得其他的附图。图I示出了现有的技术中进行图案匹配时，一种测量样品上的标准图案与其对应的设计图案的对比 图2是本专利技术的一个实施例中的线宽测量机的部份功能模块示意 图3为本专利技术的一个实施例中测量样品的局部示意 图4是图2中匹配处理单元的一个实施例的结构示意 图5是本专利技术的一个实施例中进行图案匹配时，测量样品上的标准图案与其对应的设计图案的对比图。具体实施例方式下面参考附图对本专利技术的优选实施例进行描述。请参照图3至图5所示，示出了本专利技术的线宽测量机的第一实施例。从中可以看出，该线宽测量机4包括 图像撷取单元40，用于读取测量样本上的至少一预定位置上的用于匹配的标准图案，所述测量样本为镀膜有多个图案的透明基板，所述测量样品为在透明玻璃基板I经过镀膜工艺形成多个图案2，在图案2中包含了很多线段20。线宽测量机需要对所述线段20的宽度进行测量。为了进行图案的匹配，在该测量样品上的预定位置处进一步镀膜有所述标准图案3，处于不同位置的标准图案3所包含的图案可以不同； 存储单元48，用于存储每一预定位置上的标准图案30对应的设计原图，每一位置上的标准图案所对应的设计原图为多个，所述每一设计原图所对应的图案灰度不同； 匹配处理单元42，将所述图像撷取单元40读取的测量样本的每一标准图案30分别与预存的与所述标准图案对应的设计原图进行对比，所述多个设计原图差别在于图案灰度不同；如果所述测量样本上的标准图案与至本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种图案匹配方法，用于线宽测量机的测量过程中，其特征在于，包括如下步骤：读取测量样本上的至少一预定位置上的用于匹配的标准图案，所述测量样本为镀膜有多个图案的透明基板；将所述测量样本上的所述每一标准图案分别与预存的与所述标准图案对应的多个设计原图进行对比，所述多个设计原图差别在于图案灰度不同；如果所述测量样本上的标准图案与至少一个设计原图比对成功，则判定所述图案匹配成功，进行后续的线宽测量过程；否则判定所述图案匹配失败。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：林勇佑，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：