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本发明氯硅烷残液处理工艺，将一定浓度的氯硅烷残液送入处理系统，在表面蒸发器内均匀分配、并保持一定的温度、压力，使氯硅烷残液蒸发，回收蒸发出的氯硅烷气体；蒸发后的残液进入螺旋蒸发器，进行二次蒸发。通过两级蒸发、分离，将蒸发得到的氯硅烷气体，通...
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