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现有的环境监测装置基于485/232或基于现场总线,传输速率低,抗干扰性差,外围电路复杂,通道扫描速度低,可靠性差,开发周期长,本实用新型提供了环境因素采集系统和半导体集成电路生产工艺测量设备,该采集系统包括:多个传感器网络单元,分别传感与...该专利属于睿励科学仪器(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过睿励科学仪器(上海)有限公司授权不得商用。
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