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本实用新型公开了一种直拉法制备单晶硅所使用的坩埚,包括由底部与侧壁组成的坩埚本体,所述的坩埚为分段式坩埚结构,坩埚本体根据材料的不同自上到下至少分成两段,包括上层的碳-碳复合结构的侧壁和下层的石墨结构的底部,侧壁上均匀分布有多个导热孔;所述...该专利属于上海杰姆斯电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海杰姆斯电子材料有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种直拉法制备单晶硅所使用的坩埚,包括由底部与侧壁组成的坩埚本体,所述的坩埚为分段式坩埚结构,坩埚本体根据材料的不同自上到下至少分成两段,包括上层的碳-碳复合结构的侧壁和下层的石墨结构的底部,侧壁上均匀分布有多个导热孔;所述...