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本实用新型公开了一种直拉法制备单晶硅所使用的石墨坩埚,包括由底部与侧壁组成的石墨坩埚本体,所述的石墨坩埚本体侧壁外表面均匀分布有内凹的螺纹状气体导流槽,螺纹状气体导流槽与水平面之间具有倾斜夹角。所述的石墨坩埚本体包括限定内部容积的内底面、内...该专利属于上海杰姆斯电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海杰姆斯电子材料有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种直拉法制备单晶硅所使用的石墨坩埚,包括由底部与侧壁组成的石墨坩埚本体,所述的石墨坩埚本体侧壁外表面均匀分布有内凹的螺纹状气体导流槽,螺纹状气体导流槽与水平面之间具有倾斜夹角。所述的石墨坩埚本体包括限定内部容积的内底面、内...