下载硅晶片碱腐蚀废液的回收处理系统的技术资料

文档序号:8355442

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本实用新型涉及一种化学腐蚀废液的回收处理系统,所述回收处理系统采用电解技术与离子交换膜技术相结合实现硅晶片的碱腐蚀废液的回收利用。本实用新型所涉及的回收处理系统可以减少碱腐蚀液的消耗,避免大量废水的排放,从而做到降低生产成本,节约能源,保护...
该专利属于库特勒自动化系统(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过库特勒自动化系统(苏州)有限公司授权不得商用。

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