下载一种蚀刻装置的技术资料

文档序号:8355440

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本实用新型公开一种蚀刻装置,所述装置包括蚀刻槽和设于所述蚀刻槽中的喷嘴,其中,所述蚀刻槽用于容置待蚀刻的覆铜板,所述喷嘴用于向所述覆铜板喷淋蚀刻药液,所述蚀刻装置还包括风嘴;所述风嘴朝向蚀刻槽的下方设置,用于向蚀刻槽容置的覆铜板吹出气体。采...
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