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本实用新型公开了一种可调式真空磁控溅射阳极罩，包括固定在靶背面的阳极罩，阳极罩的外侧面上设置有阳极罩溅射孔，其中，在阳极罩溅射孔的一侧设置有可以调节的活动挡板，所述活动挡板包括铰接在一起的上半部分和下半部分，上、下两部分挡板的非固定端绕节点...
该专利属于许昌天地和光能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过许昌天地和光能源有限公司授权不得商用。

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