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本实用新型公开了一种磁控溅射箱体布气结构，包括内、外两层相互套装的布气管道，内层布气管道安装在外侧布气管道内侧，两者间隔配合；内层布气管道的另一端伸出外层布气管道之外作为进气口；分别在内、外两层布气管道上设置充气孔。内层布气管道的充气孔位于...
该专利属于许昌天地和光能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过许昌天地和光能源有限公司授权不得商用。

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