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用于化学机械平坦化中使用的固结磨料的接合技术制造技术
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下载用于化学机械平坦化中使用的固结磨料的接合技术的技术资料
文档序号:8349593
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本发明提供了一种磨料制品,所述磨料制品包含支承垫、第一磨料元件、第二磨料元件和固定机构。所述支承垫具有第一主表面、第二主表面、第一边缘、第二边缘和沟槽。沟槽形成在所述第一主表面内并自所述第一边缘延伸到所述第二边缘。所述第一和第二磨料元件各自...
该专利属于3M创新有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过3M创新有限公司授权不得商用。
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