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本发明提供一种成膜装置，该成膜装置具有原料气体放出部，该原料气体放出部利用与现有相比制作更容易的构造，将多个原料气体冷却并同时不混合地放出至基板上。原料气体放出部(20)由中空的放出容器(21)和多个配管(31a1~31a3、31b1~31...
该专利属于株式会社爱发科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社爱发科授权不得商用。

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